[发明专利]清洗衬底的方法有效
| 申请号： | 202011017811.4 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112570356B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张浩铭;林佳仕 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李春秀 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明实施例涉及一种用于清洗衬底的方法，所述方法包含：接纳光罩衬底，其包括经安置于所述光罩衬底的表面上方的多层反射式结构、经安置于所述多层反射式结构上的覆盖层，及吸收器，其中所述光罩衬底具有经安置于所述表面上方的多个导电纳米颗粒；将包括SC1溶液、DI水及O |
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| 搜索关键词： | 清洗 衬底 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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