[发明专利]一种谐振型SAW温度-湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011000715.9 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112097835A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡春华;滕思茹;金纪东 | 申请（专利权）人： | 河海大学常州校区 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 丁涛 |
| 地址： | 213022 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于谐振型SAW的温度‑湿度传感器，包括单晶硅衬底、氧化硅、氮化铝、金属Al、聚酰亚胺介质层和密封腔，本发明结构简单、机械强度高、批量生产、成本低，并且本发明可在高温、高压力、密封空间等极端恶劣环境中工作，本发明通过使用独特加工技术的SAW传感器更具有体积小，价格低，与集成电路工艺兼容，产品一致性好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 saw 温度 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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