[发明专利]水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法有效
| 申请号： | 202010994740.7 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112080796B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京智创芯源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06;C30B19/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆英静 |
| 地址： | 100095 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平液相外延石墨舟，包括至少一个刮除装置，拉动滑条至第一预设位置时，刮除装置能够刮除滑条上滞留的母液；以及至少一个吸收装置，拉动滑条至第二预设位置时，吸收装置能够吸收滑条上滞留的母液；并且拉动滑条时，滑条先滑动至衬底槽与母液滞留槽对中的位置，再滑动至第一预设位置，最后滑动至第二预设位置。碲镉汞母液在衬底上生长出碲镉汞薄膜；拉动滑条至第一预设位置，刮除装置将滞留在滑条上的碲镉汞母液刮除；再拉动滑条至第二预设位置，吸收装置将碲镉汞母液吸收；在刮除装置和吸收装置的双重作用下，减少残留的碲镉汞母液，提高碲镉汞薄膜的质量。本发明还公开了一种水平液相外延生长系统、外延方法和生长方法。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 外延 石墨 生长 系统 方法 | ||
【主权项】：
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