[发明专利]水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法

权利要求书

1.一种水平液相外延石墨舟，包括滑条(200)和母液槽(100)，所述滑条(200)上设置有用于放置衬底的衬底槽(201)，所述母液槽(100)设置有用于放置碲镉汞母液的母液滞留槽(103)，其特征在于，所述水平液相外延石墨舟还包括：

至少一个设置于所述母液槽(100)上的刮除装置(101)，拉动所述滑条(200)至第一预设位置时，所述刮除装置(101)能够刮除所述滑条(200)上滞留的母液；以及

至少一个设置于所述母液槽(100)上的吸收装置(102)，拉动所述滑条(200)至第二预设位置时，所述吸收装置(102)能够吸收所述滑条(200)上滞留的母液；并且拉动所述滑条(200)时，所述滑条(200)先滑动至所述衬底槽(201)与所述母液滞留槽(103)对中的位置，再滑动至所述第一预设位置，最后滑动至所述第二预设位置；

所述刮除装置(101)包括至少一个刮片(1011)和至少一个用于放置所述刮片(1011)的刮片放置槽(1012)，所述刮片放置槽(1012)设置于所述母液滞留槽(103)的一侧，所述刮片(1011)垂直于所述滑条(200)放置并与所述滑条(200)接触；

所述吸收装置(102)包括至少一个吸片(1021)和至少一个用于放置所述吸片(1021)的吸片放置槽(1022)，所述吸片放置槽(1022)设置于所述刮片放置槽(1012)远离所述母液滞留槽(103)的一侧，所述吸片(1021)垂直于所述滑条(200)放置并与所述滑条(200)接触。

2.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，在平行于所述滑条(200)所在平面的截面上，所述刮片(1011)的长度大于所述衬底槽(201)的长度。

3.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述刮片(1011)为长方形，所述刮片放置槽(1012)为与所述刮片(1011)配合的长方形槽。

4.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述刮片(1011)的数量为两个，分别为第一刮片和第二刮片；

所述刮片放置槽(1012)的数量为两个，分别为第一刮片放置槽(1012-a)和第二刮片放置槽(1012-b)，所述第一刮片放置于所述第一刮片放置槽(1012-a)，所述第二刮片放置于所述第二刮片放置槽(1012-b)。

5.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，在平行于所述滑条(200)所在平面的截面上，所述吸片(1021)的长度大于所述衬底槽(201)的长度。

6.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述吸片(1021)为长方形，所述吸片放置槽(1022)为与所述吸片(1021)配合的长方形槽。

7.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述吸片(1021)的数量为四个，分别为第一吸片、第二吸片、第三吸片和第四吸片；

所述吸片放置槽(1022)的数量为四个，分别为第一吸片放置槽(1022-a)、第二吸片放置槽(1022-b)、第三吸片放置槽(1022-c)和第四吸片放置槽(1022-d)，所述第一吸片放置槽(1022-a)、所述第二吸片放置槽(1022-b)、所述第三吸片放置槽(1022-c)和所述第四吸片放置槽(1022-d)连通；

所述第一吸片放置于所述第一吸片放置槽(1022-a)，所述第二吸片放置于所述第二吸片放置槽(1022-b)，所述第三吸片放置于所述第三吸片放置槽(1022-c)，所述第四吸片放置于所述第四吸片放置槽(1022-d)。

8.根据权利要求1所述的水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述吸片(1021)采用碲化汞或者碲锌镉原切片材料制造。

9.一种水平液相外延生长系统，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的水平液相外延石墨舟。