[发明专利]用于微机械系统的制造方法和微机械系统在审
| 申请号： | 202010984667.5 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112520687A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特;T·弗里德里希 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于微机械系统的制造方法和微机械系统。包括以下步骤：将第一微机械功能层施加在衬底上；在第一各向异性的蚀刻步骤中在第一微机械功能层的第一区域中构造多个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟，其中，蚀刻沟在一个或两个纵向端部处通过中断区域与相邻的蚀刻沟间隔开，直至小于第一微机械功能层的厚度的第一蚀刻深度；并且在随后的各向同性的蚀刻步骤中将蚀刻沟扩展直至大于第一蚀刻深度并且小于第一微机械功能层的厚度的第二蚀刻深度，其中，蚀刻沟在第一微机械功能层的内部扩开并且下部蚀刻出中断区域，使得相邻的蚀刻沟在第一微机械功能层的内部在中断区域下方相互连接，其中，中断区域保持在第一微机械功能层的上侧上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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