[发明专利]平面度检测设备、方法和电子设备有效
| 申请号： | 202010982841.2 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112066917B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 王河;许向阳;艾博;陈威 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G06T7/00;G06T7/90;G06T7/55 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 钟扬飞 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，平面度检测设备包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。本申请提供的平面度检测设备、方法和电子设备，使用图像处理方法将景深范围和焦内平面高度相关联，克服现有平面度检测装置不易安装等缺陷，具有准确率高，易检测等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 检测 设备 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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