[发明专利]平面度检测设备、方法和电子设备

说明书

本申请提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，平面度检测设备包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。本申请提供的平面度检测设备、方法和电子设备，使用图像处理方法将景深范围和焦内平面高度相关联，克服现有平面度检测装置不易安装等缺陷，具有准确率高，易检测等优点。

技术领域

本申请涉及芯片检测领域，具体而言，涉及一种平面度检测设备、方法和电子设备。

背景技术

随着红外成像技术产业的快速发展，对于红外探测器组件的平面度有了更高的要求，目前对于平面度的测量一般通过专业的测量工具进行测量，受到图像景深、量产、特殊工作台等环境因素影响，景深通常是指摄像镜头对待摄场景能够清晰成像的物距范围，现如今，对于景深范围只有概念性的解答，但是对于焦内没有明确的定量关系。现需要一种简易的平面度检测装置，对探测器组件进行观察、检测。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，用以解决现有技术中存在的技术问题。

第一方面，本发明实施例提供一种平面度检测设备，包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。

在可选的实施方式中，分光组件包括：透光介质；入射面，设置在透光介质靠近摄取组件的一端，入射面垂直于原始光路；第一折射面，设置在透光介质内，第一折射面用于将原始光路向第一方向折射，形成第一光路；第二折射面，设置在透光介质远离摄取组件的另一端，第二折射面用于将原始光路向第二方向折射，形成第二光路。

在可选的实施方式中，第一光路与第二光路之间具有高度差。

在可选的实施方式中，第一光路垂直于原始光路。

在可选的实施方式中，第一获取组件包括：第一折射部，设置在第一光路的传播路径上，用于将第一光路折射，形成第三光路；第一检测器，用于接收第三光路的入射光，生成第一检测图像。

在可选的实施方式中，第二光路垂直于原始光路。

在可选的实施方式中，第二获取组件包括：第二折射部，设置在第二光路的传播路径上，用于将第二光路折射，形成第四光路；第二检测器，用于接收第四光路的入射光，生成第二检测图像。

在可选的实施方式中，透光介质包括：棱镜。

第二方面，本发明实施例提供一种平面度检测方法，应用于上述前述实施方式任一项的设备，包括：获取第一检测图像和第二检测图像；比较第一检测图像的对比度和第二检测图像的对比度的大小，生成对比度比较结果；判断第一检测图像和第二检测图像是否在预设景深范围内，生成范围检测结果；根据对比度比较结果、范围检测结果和预设探测高度对照表，生成探测高度数据。

第三方面，本发明实施例提供一种电子设备，包括：存储器，用以存储计算机程序；处理器，用以执行如前述实施方式中任一项的方法。

本申请提供的平面度检测方法，使用图像处理方法将景深范围和焦内平面高度相关联，克服现有平面度检测装置不易安装等缺陷，具有准确率高，易检测等优点。

附图说明