[发明专利]一种用于真空镀膜的双开型挡板结构在审
| 申请号： | 202010974371.5 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN111945114A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 金炯;张金徽;王山 | 申请（专利权）人： | 浙江赛威科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 王丽君 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市德*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其技术方案要点是包括真空镀膜机架、旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于真空镀膜机架上的固定板，主动轴与从动轴均转动连接于固定板上，主动轴与从动轴上均设置有配合齿轮，两个配合齿轮相互啮合，旋转运动输出件用于带动主动轴旋转，挡板设置有两个，挡板的横截面呈半圆形设置，主动轴与从动轴上分别固定连接有一个挡板。基片架位于挡板下方，基片架的两个侧壁上设置有涂料腔，涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，基片架侧壁上还设置有刷毛层。该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 双开 挡板 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江赛威科光电科技有限公司，未经浙江赛威科光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010974371.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：低氮燃烧方法及低氮燃烧设备
- 下一篇：光学成像系统
- 同类专利
- 专利分类
