[发明专利]一种用于真空镀膜的双开型挡板结构

说明书

本发明公开了一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其技术方案要点是包括真空镀膜机架、旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于真空镀膜机架上的固定板，主动轴与从动轴均转动连接于固定板上，主动轴与从动轴上均设置有配合齿轮，两个配合齿轮相互啮合，旋转运动输出件用于带动主动轴旋转，挡板设置有两个，挡板的横截面呈半圆形设置，主动轴与从动轴上分别固定连接有一个挡板。基片架位于挡板下方，基片架的两个侧壁上设置有涂料腔，涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，基片架侧壁上还设置有刷毛层。该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，更具体的说是涉及一种用于真空镀膜的双开型挡板结构。

背景技术

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜就是用于给材料表面镀膜的技术。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空镀膜有三种形式，分别是蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

真空镀膜设备中，放置被镀基片的基片架根据需要可采用挡板进行遮挡。挡板的作用是阻挡溅射物。目前挡板的启闭主要采用通过铰链向挡板一侧开启的方式，这种单向开启的模式，导致挡板一侧需要预留比较大的空间来供挡板开启，导致真空镀膜设备在使用当中所占空间大。并且挡板面向基片架的一侧长期受到溅射物的溅射，容易被腐蚀，导致挡板的使用寿命低。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架，还包括有旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于所述真空镀膜机架上的固定板；

所述主动轴与所述从动轴相互平行设置，所述主动轴与所述从动轴均转动连接于所述固定板上，所述主动轴与所述从动轴上均设置有所述配合齿轮，两个所述配合齿轮相互啮合；

所述旋转运动输出件安装于所述真空镀膜机架上，所述旋转运动输出件用于带动所述主动轴旋转；

所述挡板设置有两个，所述挡板的横截面呈半圆形设置，所述挡板侧壁上的曲面与侧壁上的平面之间平滑过渡，所述主动轴与所述从动轴上分别固定连接有一个所述挡板；

所述主动轴带动所述从动轴转动时，两个所述挡板逐渐拼接成一个圆板或者由一个圆板逐渐分开；

所述真空镀膜机架包括基片架，所述基片架位于所述挡板下方，所述基片架的两个侧壁上设置有涂料腔，所述涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，所述基片架侧壁上还设置有刷毛层，所述刷毛层上的刷毛一端伸入到所述涂料腔内，另一端伸出所述涂料腔内并向所述挡板相互靠近的方向弯曲，所述挡板相互靠近时，刷毛层将防腐蚀涂料涂覆于挡板上；所述挡板相互分开时，所述刷毛层将挡板上的防腐蚀液刮回到所述刷毛层上。

作为本发明的进一步改进，所述固定板上设置有传动板和第一传动轮，所述传动板上设置有腰型孔，所述腰型孔的两侧壁上均设置有传动齿，所述传动板上固定有齿条，所述传动板滑动连接于所述固定板上，所述传动板的滑动方向与所述腰型孔的长度方向以及所述齿条的长度方向保持一致；