[发明专利]一种金刚石膜散热片及其制备方法在审
| 申请号： | 202010968823.9 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112142440A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 吴宇琼;晋梅;邹琳玲;安良;唐小淋 | 申请（专利权）人： | 江汉大学 |
| 主分类号： | C04B30/00 | 分类号： | C04B30/00;C04B40/02;C04B41/65;C23C16/27;C23C16/511 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 詹守琴 |
| 地址： | 430056 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金刚石膜散热片及其制备方法，所述散热片包括复合衬底材料基层，以及与所述基层表面连接的金刚石膜层；所述复合衬底材料基层包括均匀混合的金刚石颗粒、碳化硅颗粒及硅粉。本发明衬底材料以硅粉为主，通过在硅粉中添加碳化硅颗粒和金刚石颗粒组成的衬底材料，以硅为主体材料，通过添加碳化硅颗粒和金刚石颗粒来提升衬底材料的整体导热能力；同时，衬底材料中的金刚石颗粒能为CVD金刚石膜形核阶段提供形核核心，有利于提高CVD金刚石膜在衬底材料表面生长时的形核密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 散热片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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