[发明专利]一种压电传感器的制备方法与压电传感器在审
| 申请号： | 202010968555.0 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112129432A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 曹江浪;方鹏;李光林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;H01L41/047;H01L41/29 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 黎坚怡 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种压电传感器的制备方法与压电传感器，该制备方法包括：提供压电驻极体；在压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元；在压电驻极体表面未被信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层；在绝缘层上制作信号导线，并使信号导线与信号阵列单元连接；在压电驻极体远离信号阵列单元的一侧表面上设置地线层与地线导线，以获得压电传感器。通过上述方式，本申请能够降低传感单元数量以及尺寸对压电传感器的尺寸的限制，以及减小传感单元数量以及尺寸对检测精度的影响，通过提高传感器中阵列单元的密度，进一步提高传感信号的精度和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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