[发明专利]一种光子晶体LED结构及制作方法在审
申请号: | 202010961930.9 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN112038459A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 杭伟;蔡和勋;吴奇隆;王洪占;徐洲 | 申请(专利权)人: | 扬州乾照光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李晓光 |
地址: | 225101*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种光子晶体LED结构及制作方法,包括:衬底;设置在所述衬底一侧的外延层结构,所述外延层结构具有GaP窗口层;所述GaP窗口层上具有第一中间区域和包围所述第一中间区域的第一周边区域;位于所述第一中间区域的第一凹槽,以及位于所述第一周边区域的多个第一孔槽;设置在所述GaP窗口层背离所述衬底一侧的ITO层,所述ITO层填充所述第一凹槽和所述第一孔槽;所述GaP窗口层和所述ITO层通过所述第一凹槽的接触界面为电流阻挡界面。该光子晶体LED结构通过多个第一孔槽形成光子晶体结构,结合电流阻挡界面,在提高了LED结构外量子效率的情况下,还同时实现了电流阻挡功能,提高了LED结构的光电性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 光子 晶体 led 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
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