[发明专利]图像传感器、其形成方法及集成芯片在审

专利信息
申请号: 202010960076.4 申请日: 2020-09-14
公开(公告)号: CN113314550A 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 蓝浚恺;金海光;匡训冲 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 王素琴
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开的各种实施例涉及一种图像传感器。所述图像传感器包括设置在衬底内的图像传感器元件。衬底包含第一材料。图像传感器元件包括有源层,有源层包含与第一材料不同的第二材料。缓冲层设置在有源层与衬底之间。缓冲层沿着有源层的外侧壁及底表面延伸。顶盖结构上覆在有源层上。有源层的外侧壁在顶盖结构的外侧壁之间在侧向上间隔开,使得顶盖结构在有源层的外边缘之上连续地延伸。
搜索关键词: 图像传感器 形成 方法 集成 芯片
【主权项】:
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