[发明专利]一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法有效
| 申请号： | 202010945043.2 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN112179622B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王占山;黄秋实;齐润泽;张众 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法，包括：将基板交替运动到镀制多层膜的两种靶材的溅射区域，进行第一周期多层膜的镀制；使基板远离溅射区域，继续靶材的溅射，模拟目标周期多层膜的镀制过程；将镀制有第一周期多层膜的基板再次交替运动到溅射区域，进行第二周期多层膜的镀制，形成标定样品；在固定X射线能量下对镀制好的标定样品进行X射线掠入射反射测试，得到测试反射率曲线，基于测试反射率曲线与模拟反射率曲线的比较，获得起始至结束的多层膜漂移误差；其中，第一周期多层膜和第二周期多层膜的膜对数为目标周期多层膜膜对数的1/10～1/5。与现有技术相比，本发明具有精度高、受仪器条件影响小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 精度 多层 厚度 漂移 误差 标定 方法 | ||
【主权项】：
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