[发明专利]一种复合涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010942973.2 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN111926292A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张笑;李伟 | 申请（专利权）人： | 上海仟纳真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 201100 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及保护涂层技术领域，尤其涉及一种复合涂层及其制备方法和应用。本发明提供的复合涂层，包括依次层叠设置的TiN层、AlTiN层、AlTiSiN层和V掺杂的AlTiSiN层。根据实施例的记载，本发明所述的复合涂层的硬度最大可达到47.3GPa，即便是在900℃空气中进行退火处理30min，其硬度仍可保持在40GPa以上。因此，本发明所述的复合涂层可以满足在复杂的高速切削环境中工作的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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