[发明专利]一种复合涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010942973.2 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN111926292A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张笑;李伟 | 申请（专利权）人： | 上海仟纳真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 201100 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种复合涂层，其特征在于，包括依次层叠设置的TiN层、AlTiN层、AlTiSiN层和V掺杂的AlTiSiN层。
2.如权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述V掺杂的AlTiSiN层中V的掺杂量为4～8at.％。
3.如权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述复合涂层的厚度为2.0～4.5μm；
所述TiN层、AlTiN层和AlTiSiN层的厚度独立为200～400nm。
4.权利要求1～3任一项所述的复合涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
在基体的表面依次溅射TiN层、AlTiN层、AlTiSiN层和V掺杂的AlTiSiN层，得到所述复合涂层。
5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，进行所述溅射前，对所述基体进行清洗；
所述清洗包括依次进行的超声波清洗和离子清洗。
6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述超声波清洗的频率为15～30kHz，时间为5～10min；
所述离子清洗在真空条件下进行，真空度为2～4Pa；
所述离子清洗采用的气体为Ar气，功率为80～100W。
7.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，溅射所述TiN层、AlTiN层和AlTiSiN层的功率独立为80～120W，时间独立为5～8min。
8.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，溅射所述V掺杂的AlTiSiN层的功率为180～200W，时间为60～120min。
9.如权利要求4或7或8所述的制备方法，其特征在于，溅射所述TiN层、AlTiN层、AlTiSiN层和V掺杂的AlTiSiN层时，靶材直径为75mm，总气压范围独立为0.4～0.8Pa；
Ar气流量独立为20～40sccm，N2流量独立为20～40sccm，靶基距独立为4～8cm。
10.权利要求1～3任一项所述的复合涂层或权利要求4～9任一项所述的制备方法制备得到的复合涂层在刀具中的应用。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海仟纳真空镀膜科技有限公司，未经上海仟纳真空镀膜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010942973.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种固体催化剂及其制备方法与应用
- 下一篇：一种茶叶揉捻机
- 同类专利
- 专利分类
