[发明专利]减压干燥装置在审
| 申请号： | 202010939262.X | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112474205A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 福井慎也;横山雅树;神户寿夫 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C9/12 | 分类号： | B05C9/12;B05C9/14;B05D3/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡曼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板上的减压干燥装置。一种减压干燥装置(3)，包括：腔室(6)，上述腔室对涂布有包含溶剂的涂布液膜(8)的基板(7)进行收容；减压排气部(20)，上述减压排气部使上述腔室(6)的内部减压排气；以及汽化促进部(30、35)，上述汽化促进部促进来自上述涂布液膜(8)的上述溶剂的汽化，上述汽化促进部(30、35)配设在涂布于上述基板(7)的上述涂布液膜(8)的液周缘部(49)的周边。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中外炉工业株式会社，未经中外炉工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010939262.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
