[发明专利]一种前体源气体输送装置在审
| 申请号： | 202010935578.1 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112144114A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 张东生;刘毫毫;姚栋嘉;吴恒;余佳成;马美霞;杨超;王琰 | 申请（专利权）人： | 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/16 |
| 代理公司： | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人： | 张智伟 |
| 地址： | 451261 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及MOCVD薄膜材料制备技术领域，公开一种前体源气体输送装置。包括罐体和与其固定连接的顶盖；罐体内设有进气管、出气管以及对进气管和出气管进行加热的加热装置；所述进气管为变径管道，该变径管道由粗径管道和细径管道交替连接组成并且细径管道上连接有前体源气瓶；顶盖上设置有进气阀和出气阀，进气阀连通进气管的进口，进气管的出口和出气管的进口连通，出气管的出口连通出气阀。本发明设计进气管为变径管道，提高了载气气流中前体源蒸汽的含量；进气阀和出气阀与顶盖紧密接触，没有设置多余的管路连接，热传递最大化，有效防止罐体内气化的前体源气体冷凝。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 前体源 气体 输送 装置 | ||
【主权项】：
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