[发明专利]一种前体源气体输送装置

权利要求书

1.一种前体源气体输送装置，其特征在于：包括罐体和与其固定连接的顶盖；罐体内设有进气管、出气管以及对进气管和出气管进行加热的加热装置；所述进气管为变径管道，该变径管道由粗径管道和细径管道交替连接组成并且细径管道上连接有前体源气瓶；顶盖上设置有进气阀和出气阀，进气阀连通进气管的进口，进气管的出口和出气管的进口连通，出气管的出口连通出气阀。

2.如权利要求1所述的前体源气体输送装置，其特征在于：加热装置与罐体之间设置有保温层。

3.如权利要求1或2所述的前体源气体输送装置，其特征在于：所述加热装置围合进气管和出气管设置，所述加热装置为下述的结构①或结构②：

结构①：包括尺寸相同的上连接环和下连接环，下连接环与罐体底壁接触，上连接环和罐体顶端平齐，上连接环和下连接环之间周向串联连接有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至罐体外；

结构②：包括尺寸相同的上连接环和下连接环，下连接环与罐体底壁不接触，上连接环和罐体顶端平齐，上连接环和下连接环之间周向串联连接有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至罐体外；上连接环上设置有若干个凸缘，罐体的顶端设置有与上连接环的凸缘对应的第一凹槽，凸缘卡接在罐体的第一凹槽内。

4.如权利要求3所述的前体源气体输送装置，其特征在于：所述加热装置为结构①时，上连接环上设置有若干个凸缘，罐体的顶端设置有与上连接环的凸缘对应的第一凹槽，凸缘卡接在罐体的第一凹槽内从而将加热装置固定在罐体内。

5.如权利要求4所述的前体源气体输送装置，其特征在于：所述保温层为圆柱状，保温层底端与罐体底壁接触、顶端和罐体顶部平齐，保温层内径大于上连接环和下连接环的外径。

6.如权利要求5所述的前体源气体输送装置，其特征在于：保温层的顶端设置有与上连接环的凸缘对应的第二凹槽，凸缘依次卡接在第二凹槽、第一凹槽内。

7.如权利要求1所述的前体源气体输送装置，其特征在于：罐体顶端和顶盖底端分别设置有对应的密封槽，罐体和顶盖之间设置有密封圈，密封圈安装在罐体顶端和顶盖底端的密封槽内。

8.如权利要求1所述的前体源气体输送装置，其特征在于：进气阀和出气阀与顶盖直接接触式设置在顶盖上；出气管竖直设置在罐体内，进气管螺旋式围绕出气管布置在罐体内。

9.如权利要求1所述的前体源气体输送装置，其特征在于：顶盖底端固定连接有顶盖支撑架：顶盖支撑架包括支撑环，支撑环底端与罐体底壁接触或不接触，支撑环上周向固定连接有若干个均匀分布的竖向支撑柱，支撑柱的顶端与顶盖底部固定连接；顶盖支撑架设置在加热装置内，进气管和出气管设置在顶盖支撑架内。

10.如权利要求1所述的前体源气体输送装置，其特征在于：前体源气瓶与细径管道之间设置有气瓶端盖，气瓶端盖固定在细径管道上；前体源气瓶与气瓶端盖通过螺纹连接；顶盖顶部设置有至少一个把手；出气管在顶盖下方和出气阀相连的部位设置有过滤装置。