[发明专利]制备热解氮化硼的供气系统及其供气方法

摘要

本发明提供了一种制备热解氮化硼的供气系统及其供气方法，所述供气系统包括炉体、多个三氯化硼供气瓶、多个氨气供气瓶以及保护气供气瓶组。炉体具有第一进气口和第二进气口。所述多个三氯化硼供气瓶以并联方式连通于第一进气口。所述多个氨气供气瓶以并联方式连通于第二进气口。保护气供气瓶组连通于第一干路管道、第一支路管道、第二干路管道以及第二支路管道。由于多个三氯化硼供气瓶和多个氨气供气瓶均以并联方式设置，由此保证了稳定、安全、连续的供气；且在进行化学气相沉积前后，都可利用保护气供气瓶组对管道进行吹扫，从而防止了具有氧化性功能的气体影响化学气相沉积反应以及气体残留腐蚀管道，由此提高了热解氮化硼制品的质量。