[发明专利]一种空腔型薄膜体声波谐振器封装结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202010923553.X | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112290901A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;轩伟鹏;刘刚;张洪;金浩;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H3/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 311200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空腔型薄膜体声波谐振器封装结构及其制备方法，该结构包括：衬底、基板、压电振荡堆和金属键合层，所述压电振荡堆和金属键合层位于衬底与基板之间，且金属键合层绕设于压电振荡堆四周，是由设于衬底和基板上的金属柱交叉键合形成，在压电振荡堆与衬底之间具有第一空腔，是通过直接刻蚀或腐蚀衬底形成，在压电振荡堆与基板之间具有第二空腔，是通过释放牺牲层形成；所述压电振荡堆包括下电极、压电层和上电极。该结构由特定处理后的衬底部分及基板部分通过金属柱直接交叉键合，再释放牺牲层而制得，本发明的方法可以有效解决空气隙型体声波谐振器薄膜应力积累及质量差、器件易坍塌、工艺复杂等问题，可以提高器件性能和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 薄膜 声波 谐振器 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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