[发明专利]电弧离子镀膜装置在审
| 申请号： | 202010922316.1 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111893440A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘威;冯森;蹤雪梅 | 申请（专利权）人： | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 马艳苗 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电弧离子镀技术领域，特别涉及一种电弧离子镀膜装置。本发明的电弧离子镀膜装置，包括：基体支架，用于支撑基体；电弧源，包括阴极靶，阴极靶用于释放等离子体，以为基体镀膜；和辅助阳极，设置于阴极靶与基体支架之间，辅助阳极内设有允许阴极靶所释放等离子体通过的通道，且辅助阳极与阴极靶之间形成电场，辅助阳极和阴极靶分别与电源的正极和负极电连接。基于此，可减少大颗粒在膜层上的沉积，从而有效改善膜层质量。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 离子 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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