[发明专利]钛酸锶铋/铁酸铋异质电介质薄膜及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202010920802.X 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN112201478B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 翟继卫;宋佰洁;闫浩;沈波 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: H01G4/08 分类号: H01G4/08;H01G4/33
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 陈天宝
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种钛酸锶铋/铁酸铋异质电介质薄膜及其制备方法和应用,所述电介质薄膜的化学组成为Sr0.7Bi0.2TiO3/xBiFeO3,其中x=1~3,所述x为铁酸铋的层数,所述电介质薄膜为具有异种材料界面的叠层结构;其制备方法为溶胶凝胶法,按照化学计量比配置前驱体溶液,随后滴至洗净的Pt/Ti/SiO2/Si基片上旋转涂覆,依次经过200 oC‑450 oC‑700 oC热处理,重复上述旋转镀膜以及热处理工艺,直至膜厚为~300 nm。与现有技术相比,发明制备的高储能密度薄膜电容器具有优异的储能性能,其储能密度可达50.9 J/cm3,储能效率可达52.84%,温度稳定性良好。
搜索关键词: 钛酸锶铋 铁酸铋异质 电介质 薄膜 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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