[发明专利]热释电灵敏元的制备方法有效
| 申请号： | 202010919104.8 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111816754B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 何虎;张杰;于海洋;许晴;王昕;刘盼盼 | 申请（专利权）人： | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;G01J5/34 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种热释电灵敏元的制备方法，包括步骤：（1）减薄后的热释电晶体在清洗后进行退火处理；（2）采用真空蒸镀工艺，分别在热释电晶体的两侧面镀制上电极和下电极；（3）采用真空蒸镀工艺，通过在镀膜夹具下方安装图形化工装，以在热释电晶体的上电极上镀制吸收层，在真空蒸镀工艺开始前和结束后均烘烤预设时间；（4）降温后，破空取件，即得本发明的热释电灵敏元特殊设计的图形化单元，能够提高吸收效率；上、下电极和图形化吸收层全部采用真空热蒸发镀膜的工艺方法，过程控制简单，适合生产制程。 | ||
| 搜索关键词： | 热释电 灵敏 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海翼捷工业安全设备股份有限公司，未经上海翼捷工业安全设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010919104.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
