[发明专利]热释电灵敏元的制备方法

权利要求书

1.一种热释电灵敏元的制备方法，其特征在于，所述的制备方法包括步骤：

（1）减薄后的热释电晶体在清洗后进行退火处理；

（2）采用真空蒸镀工艺，分别在热释电晶体的两侧面镀制上电极和下电极；

（3）采用真空蒸镀工艺，通过在镀膜夹具下方安装图形化工装，以在热释电晶体的上电极上镀制吸收层，在真空蒸镀工艺开始前和结束后均烘烤预设时间，所述的图形化工装具有至少一个工装单元，每个工装单元对应一个热释电灵敏元，每个所述的工装单元具有第一镂空区域、第二镂空区域、以及分隔所述的第一镂空区域和第二镂空区域的连接区域，所述的连接区域设置成具有中央部分和从所述的中央部分延伸的两悬臂，所述的图形化工装设置成在真空蒸镀吸收层时，形成具有被金黑覆盖的第一区域和位于所述的第一区域的中央的第二区域的图形，所述的第二区域为未被金黑覆盖的区域；

（4）降温后，破空取件，即得所述的热释电灵敏元。

2.根据权利要求1所述的热释电灵敏元的制备方法，其特征在于，在所述的步骤（1）中，采用超声波进行清洗；所述的退火处理的退火温度为450℃～550℃，恒温退火时间为7～9h，升降温速度≤5℃/min。

3.根据权利要求1所述的热释电灵敏元的制备方法，其特征在于，所述的步骤（2）具体包括步骤：

（2-1）将退火后的热释电晶体再次进行清洗，并风干，装入镀膜夹具，放入真空室；并且，真空室内的蒸发源放入镍铬合金丝和金丝，抽真空；

（2-2）使用霍尔离子源轰击热释电晶体；

（2-3）将挂有镍铬合金丝的蒸发源通电，打开挡板开始蒸镀，待膜厚大于第一预设膜厚后，关闭挡板，关闭挂有镍铬合金丝的蒸发源；

（2-4）将挂有金丝的蒸发源通电，打开挡板开始蒸镀，待膜厚大于第二预设膜厚后，关闭挡板，关闭挂有金丝的蒸发源。

4.根据权利要求3所述的热释电灵敏元的制备方法，其特征在于，所述的步骤（3）具体包括步骤：

（3-1）取出装有热释电晶体的镀膜夹具，并在镀膜夹具下方安装图形化工装，放入真空室；并且，真空室内的蒸发源放入金丝，抽真空；

（3-2）打开烘烤，设置烘烤温度80℃～120℃，恒温15～45min；

（3-3）充入高纯氮气，维持镀膜区的压强在80Pa～120Pa；

（3-4）将挂有金丝的蒸发源通电，打开挡板开始蒸镀，待膜厚大于第三预设膜厚后，关闭挡板，关闭挂有金丝的蒸发源，关闭高纯氮气，继续烘烤15～45min。