[发明专利]一种板式设备制备钝化接触太阳能电池的方法及装置

摘要

本发明提供的一种板式设备制备钝化接触结构太阳能电池的方法，包括如下步骤：S1.选取晶体硅基体；S2.在板式一体式连续镀膜设备中，晶体硅基体首先进入ALD工艺腔沉积隧穿氧化层，之后进入PECVD工艺腔连续沉积掺杂非晶硅层；S3.将晶体硅基体退火形成掺杂多晶硅层；S4.在掺杂多晶硅层表面制备氮化硅减反层，并在另一面制备氧化铝钝化层及氮化硅减反层；S5.在晶体硅基体正反两面通过丝网印刷的方式制备金属导电电极。本发明采用板式传输，可在一套设备中连续制备隧穿氧化层及掺杂非晶硅层，减少工序；且ALD及PECVD工艺温度低，可减少硅片弯曲带来的不良；PECVD工艺无绕镀，减少后期清洗步骤，并可实现原位掺杂以减少后续单独的磷掺杂工序。