[发明专利]一种大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法有效
| 申请号： | 202010900017.8 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112125309B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 刘剑洪;黎烈武;杨鹏刚;张黔玲;扶勇欢;陈超 | 申请（专利权）人： | 深圳市本征方程石墨烯技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/97 | 分类号： | C01B32/97;C30B1/00;C30B29/36;B82Y40/00;B33Y70/00;B33Y10/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘文求;朱阳波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法，其中，制备方法包括：在水溶液中对二氧化硅粉末进行球磨，制得二氧化硅水溶液；将所述二氧化硅水溶液与液态丙烯腈低聚物混合，经喷雾干燥，制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料；将所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料与石墨进行固相混合，经球磨后，制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料；依次在惰性气体的气氛以及空气气氛下，对所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料进行热处理，制得碳化硅粉末；将所述碳化硅粉末通过3D打印制得大尺寸碳化硅晶圆。本发明采用3D打印技术制备大尺寸碳化硅晶圆，制备工艺简单，且可根据实际需求制备得到不同尺寸的碳化硅晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 碳化硅 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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