[发明专利]一种均匀的超薄遂穿氧化层的制备方法及电池有效
| 申请号： | 202010896906.1 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112186069B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 陈孝业;何自娟;蒋秀林;秦怡;尹海鹏 | 申请（专利权）人： | 晶澳（扬州）太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0216;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 姚东华 |
| 地址： | 225009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种均匀的超薄遂穿氧化层的制备方法及电池，涉及太阳能电池制造领域，解决现有技术中遂穿氧化层均匀性差的问题。所述超薄遂穿氧化层的制备方法在管式炉管内完成，氧化时炉管内的压力为常压或微正压或微负压状态。本发明的遂穿氧化钝化接触电池的遂穿氧化层采用上述的制备方法制备。本发明制备的超薄遂穿氧化层的均匀性好，能够实现背靠背装片的规模化量产，能极大地提高量产遂穿氧化钝化接触电池的产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 超薄 氧化 制备 方法 电池 | ||
【主权项】：
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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