[发明专利]一种热解石墨气相沉积装置及工艺

摘要

本发明公开了一种热解石墨气相沉积装置及工艺，包括支撑机构、进气机构、罩壳和石墨电阻发热体。该热解石墨气相沉积装置及工艺，将碳素件摆放在支撑机构的载物托盘上，然后控制第二气缸带动支撑台面上升，从而使得载物托盘带动碳素件上升到工作时的位置；打开真空系统阀门，通过真空泵将罩壳内的气压抽真空,开始加热，控制石墨电阻发热体开始升温，恒温结束后进气管及石墨隔挡板下降到发热体二分之一位置处；此时由进气管供给碳氢气体原料，当热解石墨气象沉积10‑30分钟之后，控制电机开始工作，电机带动载物托盘以十分钟每转的速度；当气相沉积过程结束后，进气管及石墨隔挡板上升回到初始位置后，开始通过水冷排管降温。