[发明专利]一种热解石墨气相沉积装置及工艺

权利要求书

1.一种热解石墨气相沉积装置，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的顶面固定安装有罩壳(2)，罩壳(2)的上方设有供气机构(3)，罩壳(2)的下方设有支撑机构(4)，罩壳(2)的内侧设有石墨电阻发热体(5)，罩壳(2)的上部外壁固定连接有插入其内的石墨电极(6)，石墨电极(6)的一端与石墨电阻发热体(5)固定连接，供气机构(3)包括安装架(7)、第一气缸(8)、横板(9)、进气管(10)、第一螺纹块(11)、第二螺纹块(12)、石墨隔挡板(13)和测温热电偶(14)，支撑机构(4)包括第二气缸(15)、支撑台面(16)、载物托盘(17)、排管底座(18)、水冷排管(19)和电机(22)，支撑机构(4)的上方设有碳素件(20)，罩壳(2)的外壁固定安装有温度控制仪(21)，安装架(7)固定安装在罩壳(2)的顶面，第一气缸(8)对称固定安装在安装架(7)的顶部内侧，横板(9)与第一气缸(8)的伸缩端固定连接，进气管(10)和测温热电偶(14)同时贯穿横板(9)、罩壳(2)和石墨隔挡板(13)，进气管(10)圆周等距设在测温热电偶(14)的外侧，进气管(10)和测温热电偶(14)的顶部外壁与横板(9)固定连接，进气管(10)和测温热电偶(14)与罩壳(2)滑动连接，石墨隔挡板(13)滑动套设在进气管(10)和测温热电偶(14)的下部外侧，石墨隔挡板(13)设在罩壳(2)内，且石墨隔挡板(13)设在石墨电阻发热体(5)之间，石墨隔挡板(13)设在第一螺纹块(11)的上方，第一螺纹块(11)螺纹连接在进气管(10)的底部外壁，第二螺纹块(12)螺纹连接在进气管(10)的上部外壁上，第二螺纹块(12)设在横板(9)和罩壳(2)之间，第二气缸(15)对称固定安装在支架(1)的底部内侧，支撑台面(16)固定安装在第二气缸(15)的伸缩端上，载物托盘(17)转动连接在支撑台面(16)的顶面，电机(22)固定安装在支撑台面(16)的底面，电机(22)的输出轴穿过支撑台面(16)且通过联轴器与载物托盘(17)的底面固定连接，载物托盘(17)为工字装，排管底座(18)转动套设在载物托盘(17)的中部外侧，水冷排管(19)设在排管底座(18)内，载物托盘(17)设在罩壳(2)内，且载物托盘(17)的外壁与罩壳(2)的内壁滑动连接，罩壳(2)外设有门体，罩壳(2)的材料为石墨硬毡，石墨电阻发热体(5)、石墨电极(6)、进气管(10)、第一螺纹块(11)、第二螺纹块(12)、石墨隔挡板(13)和载物托盘(17)的材质均为三高石墨材质，支架(1)、安装架(7)、横板(9)、支撑台面(16)、排管底座(18)和水冷排管(19)均为不锈钢材质，测温热电偶(14)外壁为碳化硅陶瓷管，内部装配钨铼热电偶丝，石墨电阻发热体(5)的中间位置为温度最高的区域。

2.根据权利要求1所述的一种热解石墨气相沉积装置，其特征在于：所述罩壳(2)的外侧设与其相连通的包括有阀门和真空泵的真空系统，第一气缸(8)和第二气缸(15)均外接有控制气源，水冷排管(19)外设有控温冷水循环设备，进气管(10)外接有碳氢气体供给设备。

3.根据权利要求1所述的一种热解石墨气相沉积装置，其特征在于：所述石墨电极(6)和电机(22)均外接有电源，石墨电极(6)与石墨电阻发热体(5)电性连接，温度控制仪(21)通过电线与石墨电阻发热体(5)电性连接，测温热电偶(14)通过电线与温度控制仪(21)电性连接。