[发明专利]一种MEMS结构在审
| 申请号： | 202010881828.8 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111866684A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘端;李冠华;夏永禄 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/01 | 分类号： | H04R19/01;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市合肥市高新区习友路33*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成于振动支撑层上方；压电层，形成于第一电极层上方；第二电极层，形成在压电层上方，第一电极层和第二电极层中的一个具有周向的第一分割槽和径向的第二分割槽，以将第一电极层和第二电极层中的一个分割成分隔开的中间区域和外围区域，第一电极层和第二电极层中的另一个具有相连的中间区域和外围区域。本申请通过在MEMS结构内设置具有第一分割槽的第二电极层或第一电极层，使得中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层能够输出电压反号，有效减少了电荷中和，从而提高了MEMS结构的输出灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽奥飞声学科技有限公司，未经安徽奥飞声学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010881828.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：复合余弦齿形内啮合传动齿轮
- 下一篇：全球卫星导航系统中的四馈平面螺旋天线
