[发明专利]带输出的偏振马赫-曾德干涉系统有效
| 申请号： | 202010868406.7 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN111928879B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王子瀚 | 申请（专利权）人： | 南京英特飞光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G02B27/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210014 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带输出的偏振马赫‑曾德干涉系统，所述干涉系统包括：包括分束器和反射镜，所述分束器包括第一分束器以及第二分束器；所述反射镜包括第一反射镜以及第二反射镜；所述第一分束器以及第二分束器串联于入射光路，所述第一分束器的分光面与第二分束器的反射面平行设置。该结构通过采用两个分束器进行分光与合束，并通过调整分束器的分光面方向，在合束器处引出测量光束，可在干涉仪外部构建不同的测试光路，通过两个反射镜实现测试与参考两个光轴的重合。 | ||
| 搜索关键词： | 输出 偏振 马赫 干涉 系统 | ||
【主权项】：
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