[发明专利]带输出的偏振马赫-曾德干涉系统

权利要求书

1.一种带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，包括分束器和反射镜，所述分束器包括第一分束器以及第二分束器；所述反射镜包括第一反射镜以及第二反射镜；所述第一分束器以及第二分束器串联于入射光路，所述第一分束器的分光面与第二分束器的反射面平行设置；

所述第一分束器：将由光源发射的入射光束分开成一个测量光束和一个参考光束；

所述第二分束器：用于测量光束输出以及将返回的测量光束与参考光束合束；

所述第一反射镜：将第一分束器分成的参考光束反射至第二反射镜；

所述第二反射镜：将来自第一反射镜的参考光束反射至第二分束器。

2.根据权利要求1所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，所述第一反射镜以及第二反射镜位于分束器一侧，第一反射镜和第二反射镜与入射光束呈45°设置。

3.根据权利要求1所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，所述分束器为组合双分束器，所述组合双分束器为方柱形结构，包括截面呈平行四边形的第一棱镜以及设置于所述第一棱镜两侧的第一直角棱镜和第二直角棱镜；

所述第一棱镜不镀膜，第一直角棱镜和第二直角棱镜的大面镀制偏振分束膜；

所述第一直角棱镜作为第一分束器：将由光源发射的入射光束分开成一个测量光束和一个参考光束；

所述第二直角棱镜作为第二分束器：将测量光束输出以及将返回的测量光束与参考光束合束。

4.根据权利要求2所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，所述反射镜为直角双反射器，所述直角双反射器为用于将第一直角棱镜分成的参考光束反射至第二直角棱镜的直角棱镜，所述直角双反射器的反射面与入射光束呈45°。

5.根据权利要求1所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，入射光束与分束器之间设置有用于改变由光源发射的光束的线偏振方向的第一波片。

6.根据权利要求1所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，所述第一反射镜以及第二反射镜之间设置有用于将参考光束的偏振方向由S-偏振光旋转为P-偏振光的第二波片。

7.根据权利要求4所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，所述分束器与所述直角双反射器之间设置有用于将输出的参考光束的偏振方向由S-偏振光旋转为P-偏振光的第二波片。

8.根据权利要求1所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，在所述分束器测量光束输出的一侧设置有第三波片。

9.一种带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，包括组合双分束器、第一反射镜、第二反射镜、第一波片、第二波片以及第三波片；

所述组合双分束器为方柱形结构，包括截面呈平行四边形的第一棱镜以及设置于所述第一棱镜两侧的第一直角棱镜和第二直角棱镜，所述第一棱镜不镀膜，第一直角棱镜和第二直角棱镜的大面镀制偏振分束膜；

所述第一直角棱镜：将由光源发射的入射光束通过透射/反射，分解为P-偏振光的测量光束和S-偏振光的参考光束；

所述第二直角棱镜：将由第一直角棱镜出射的第一阶段测量光束和第二反射镜出射的参考光束交叉透射，将由外光路返回的携带有被测件信息的第二阶段测量光束反射；

所述第一反射镜和第二反射镜：将第一直角棱镜分成的参考光束反射至第二直角棱镜；

所述第一波片：设置于入射光束与组合双分束器之间，用于改变由光源发射的光束的线偏振方向；

所述第二波片：将参考光束的偏振方向由S-偏振光旋转为P-偏振光；

所述第三波片：设置于组合双分束器测量光束输出侧，用于将第一阶段的测量光束转换为圆偏振光出射，然后将返回的测量光束再次转换为线偏振光。

10.根据权利要求9所述的带输出的偏振马赫-曾德干涉系统，其特征在于，

所述第一反射镜为平面镜、直角棱镜或梯形棱镜；

所述第二反射镜为平面镜、直角棱镜或梯形棱镜；

或通过直角双反射器替代所述第一反射镜和第二反射镜，所述直角双反射器为直角棱镜。