[发明专利]光路切换组件、检测装置及其启动方法和稳态使用方法在审
| 申请号： | 202010844461.2 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111965108A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;黄有为;张龙;王赢 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G02B7/182;G02B5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 宋天凯 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光路切换组件、检测装置及其启动方法和稳态使用方法，其中，该光路切换组件包括切换台和光线吸收部件，所述切换台设有变向部件，用于改变入射光束的出射方向；在使用时，所述变向部件能够改变所述入射光束的出射方向、以使所述入射光束射入所述光线吸收部件，或者，所述切换台能够避让所述入射光束，所述切换台在避让所述入射光束后、所述入射光束射入所述光线吸收部件。采用这种结构，在待测试样进行更换的间隙，可以通过上述的切换组件对检测光束的路径进行改变，以使得检测光束可以直接射入或者通过变向部件变向后射入光线吸收部件，能够避免检测光束对于检测台等部件的长期照射，同时，还能够保证检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 组件 检测 装置 及其 启动 方法 稳态 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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