[发明专利]光路切换组件、检测装置及其启动方法和稳态使用方法

权利要求书

1.一种光路切换组件，其特征在于，包括切换台(11)和光线吸收部件(12)，所述切换台(11)设有变向部件(111)，用于改变入射光束的出射方向；

在使用时，所述变向部件(111)能够改变所述入射光束的出射方向、以使所述入射光束射入所述光线吸收部件(12)，或者，所述切换台(11)能够避让所述入射光束，所述切换台(11)在避让所述入射光束后、所述入射光束射入所述光线吸收部件(12)。

2.根据权利要求1所述光路切换组件，其特征在于，还包括驱动部件，所述驱动部件能够直接或者间接与所述变向部件(111)传动连接，用于驱使所述变向部件(111)进行动作，以调整所述变向部件(111)相对所述入射光束的位置或者姿态。

3.根据权利要求2所述光路切换组件，其特征在于，所述驱动部件包括第一驱动构件(13)，所述第一驱动构件(13)直接或者间接与所述变向部件(111)传动连接，用于驱使所述变向部件(111)进行线性位移，以调整所述变向部件(111)相对所述入射光束的位置。

4.根据权利要求3所述光路切换组件，其特征在于，所述第一驱动构件(13)与所述切换台(11)传动连接；

所述切换台(11)设有用于避让所述入射光束的孔型或者槽型的避让结构；和/或，所述变向部件(111)的数量为多个，各所述变向部件(111)在所述切换台(11)间隔设置，且各所述变向部件(111)的变向方向不同。

5.根据权利要求4所述光路切换组件，其特征在于，还包括基台(14)，所述切换台(11)、所述第一驱动构件(13)均安装于所述基台(14)。

6.根据权利要求2所述光路切换组件，其特征在于，所述驱动部件还包括第二驱动构件，所述第二驱动构件直接或者间接与所述变向部件(111)传动连接，用于驱使所述变向部件(111)进行转动，以调整所述变向部件(111)的变向方向。

7.根据权利要求1-6中任一项所述光路切换组件，其特征在于，还包括功率检测部件(15)，在使用时，所述变向部件(111)能够改变入射光束的出射方向、以使所述入射光束射入所述功率检测部件(15)，或者，所述切换台(11)能够避让所述入射光束，所述切换台(11)在避让所述入射光束后、所述入射光束射入所述功率检测部件(15)。

8.根据权利要求1-6中任一项所述光路切换组件，其特征在于，所述变向部件(111)为反射镜。

9.根据权利要求1-6中任一项所述光路切换组件，其特征在于，所述光线吸收部件(12)为光阱。

10.一种检测装置，包括检测台和检测光源(2)，其特征在于，还包括如权利要求1-9中任一项所述光路切换组件(1)，所述检测光源(2)用于提供检测光束(B)，所述检测光束(B)经过所述光路切换组件(1)后能够射入所述光线吸收部件(12)或者射向位于检测台的待测试样(A)。

11.一种检测装置的启动方法，其特征在于，所述检测装置包括光路切换组件(1)、检测台和检测光源(2)，所述光路切换组件(1)包括切换台(11)和光线吸收部件(12)，所述切换台(11)设有变向部件(111)，用于改变入射光束的出射方向，在使用时，所述变向部件(111)能够改变所述入射光束的出射方向、以使所述入射光束射入所述光线吸收部件(12)，或者，所述切换台(11)能够避让所述入射光束，所述切换台(11)在避让所述入射光束后、所述入射光束射入所述光线吸收部件(12)，所述启动方法包括如下步骤：

步骤S1，启动所述检测光源(2)；

步骤S2，控制所述光路切换组件(1)将所述检测光源(2)的检测光束(B)引入所述光线吸收部件(12)中；

步骤S3，控制所述光路切换组件(1)将满足要求的所述检测光束(B)引入检测路径，以供位于所述检测台的待测试样(A)使用。