[发明专利]氧化铈传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010840827.9 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112505097A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 杨爱军;马雄华;钟艳花 | 申请（专利权）人： | 江门市阳邦智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 529000 广东省江门市蓬江区潮连大道6号(*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化铈传感器及其制备方法，氧化铈传感器包括传感器基底和纳米气敏薄膜，传感器基底包括衬底和设置在衬底上的四个叉指电极组每个所述叉指电极组包括四个叉指电极；纳米气敏薄膜包括分别附着在所述四个叉指电极组表面的金‑氧化铈纳米气敏薄膜、银‑氧化铈纳米气敏薄膜、铂‑氧化铈纳米气敏薄膜和钯‑氧化铈纳米气敏薄膜；通过将贵金属掺杂到氧化铈材料中，可以得到在低温下具有高灵敏度的功能化材料，从而改善传统器件工作温度高的问题，基于多种氧化铈功能化材料构造气体传感器阵列，可以解决多种气体的交叉敏感问题。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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