[发明专利]一种用于面板基材清洗后的真空干燥装置和方法在审
| 申请号： | 202010836477.9 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112066649A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;沈宗豪;施利君;宋金林 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B21/14;F26B1/00;F26B3/30;B08B3/04 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 吕正刚 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于面板基材清洗后的真空干燥装置和方法，通过对面板基板进行特定温度下的预脱水，利用马拉高尼效应降低面板基材表面的张力，从而带走产品表面大部分的水分及清洗后残余的少许杂质，然后再通过真空干燥，利用水蒸气分子在待处理产品上扩散的过程来提升水分向外部周围迁移的动力，提升干燥速度，且真空环境下水的沸点也越低，更容易去除，进一步保证干燥效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 面板 基材 清洗 真空 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
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