[发明专利]顶电极具有上下空隙的体声波谐振器及制造方法、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202010836228.X | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN114079433A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;班圣光;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/19;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法，所述谐振器包括：基底；声学镜；底电极；压电层；顶电极；覆盖层，至少覆盖所述顶电极的非电极连接端，其中：顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重合区域构成谐振器的有效区域；顶电极的非电极连接端的下侧和上侧沿所述有效区域分别设置有第一空隙和第二空隙，且所述第二空隙所在的位置为覆盖层和/或顶电极的被移除的对应部分所在的位置，所述被移除的对应部分形成所述第二空隙。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 具有 上下 空隙 声波 谐振器 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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