[发明专利]一种光刻胶用线性酚醛树脂碱溶解速率的测试方法在审
| 申请号： | 202010816380.1 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112229987A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 崔淑杰;杨欣;贾宏平;李永强 | 申请（专利权）人： | 陕西彩虹新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/44 | 分类号： | G01N33/44 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 712021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶用线性酚醛树脂碱溶解速率的测试方法，包括如下步骤：样品的称量与溶解；样品溶液成膜；膜厚测量；碱溶解速率测量。本发明将一定量的线性酚醛树脂准确称量后溶解于特定溶剂中，将所得溶液在硅片上形成一定厚度的膜层，对膜层进行固化，测量特定位置的膜厚，对固化后的膜层进行显影，测量显影后的膜厚，通过计算出线性酚醛树脂碱溶解速率。本发明提供的测量方法具有快速性、准确性、代表性，可大规模应用于光刻胶的生产过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 线性 酚醛树脂 溶解 速率 测试 方法 | ||
【主权项】：
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