[发明专利]以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器有效
| 申请号： | 202010816098.3 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111918472B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李和平;方川;李静;陈坚 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 楼艮基 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器属于介质阻挡放电等离子体发生器领域，其特征在于，以铝合金弹力弹簧和流体封闭在一起构成的流体型介质阻挡放电电极代替了由不易弯曲的金属放电电极和固体介质阻挡材料组成的固体型介质阻挡放电电极，所述流体是指处理材料表面时所需活性离子的溶液或其喷雾流，以解决等离子体均匀性不足甚至产生丝状放电的问题；经化学腐蚀工艺得到的镂空掩膜层贴附于被处理物体表面，其中的镂空图案与待处理表面位置区域、面积、形状相一致，以解决等离子体束处理不同需求的物体表面时无法调整等离子体束作用参数的问题，从而实现了应用的普适性和特殊性。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 阻挡 介质 柔性 平板 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
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