[发明专利]以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器

权利要求书

1.以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器，其特征在于，包括：固定层(1)、流体型介质阻挡放电电极层、可调等离子体腔体(3)以及贴附于被处理物体表面的镂空掩膜(4)，其中：

所述固定层(1)，是一块可弯曲的弹性绝缘橡胶板，上端面开有纵向流体进水口(11)和流体出水口(12)，下端面开设与水囊相对应的凹槽；

所述流体型介质阻挡放电电极层，是由外壳(21)和流体介质阻挡放电电极层组成，其中：

所述外壳(21)，是一个横截面为任意形状的中空环形体，由可弯曲的弹性绝缘材料制成，其上端面与所述固定层(1)的环状下端面粘接，左侧端面沿水平方向开设有高压电源接线孔，右侧面接地；

所述流体型介质阻挡放电电极层，是由金属放电电极、用于浸没所述金属放电电极的流体(23)和密闭水囊(24)共同组成，其中：

所述金属放电电极是一个栅状电极，由连接高压电源接线柱(224)的左金属拉伸杆(221)、连接接地端的右金属拉伸杆(222)以及连接在两拉伸杆之间的至少一个以上等间距排列的铝合金弹力弹簧(223)组合而成，且与被处理物体表面平行安装；

所述流体(23)，是掺入所需活性离子的混合水溶液，简称离子溶液，根据掺入活性离子的种类和浓度调节所述离子溶液的整体电导率；

所述密闭水囊(24)，是由柔性导电橡胶制成的密闭储水囊袋(241)，左右两侧设有可供电源线通过的绝缘橡胶密闭塞(242)，所述密闭水囊(24)上端面与所述固定层(1)的下端面连接，侧面与所述外壳(21)的内侧面环形连接；

所述可调等离子体腔体(3)，是由弹性材料制作的环形橡胶圈，其内侧面设有锯齿形凸起，与所述外壳(21)的外侧面的锯齿形凹陷紧密配合，通过调节锯齿的咬合位置达到等离子体放电腔高度可调的目的，所述可调等离子体腔体(3)侧面开有工质气体进气孔(31)；

所述贴附于被处理物体表面的镂空掩膜(4)，是一片可弯曲的弹性绝缘橡胶膜，贴附于被处理物表面，中间部分有至少一个用掩膜工艺化学腐蚀后形成的镂空图案(41)，所述镂空图案(41)在形状上与被处理物体表面上用线条图表示的等离子体束作用区域位置、形状相一致。

2.根据权利要求1所述的以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器，其特征在于，所述离子溶液能用一种带有相同活性离子的离子喷雾流代替，所述离子喷雾流通过流体进水口(11)输入到所述密闭水囊(24)时，作为介质阻挡放电中流体型介质；所述离子喷雾流通过工质气体进气孔(31)输入到所述可调等离子体腔体(3)时，就作为介质阻挡放电中“气-液”两相放电的工质，以达到增强等离子体强度和调整等离子体中活性基团种类的目的。