[发明专利]光刻胶及亚胺类材料的图案化方法有效
| 申请号： | 202010815574.X | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111880371B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 徐宏;何向明;王倩倩 | 申请（专利权）人： | 常州华睿芯材科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王勤思 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶，包括：氨基化合物、醛基化合物、产酸剂和溶剂，所述产酸剂能够在紫外光下分解形成光酸催化剂，所述光酸催化剂能够催化所述氨基化合物和所述醛基化合物发生缩合反应形成亚胺类聚合物；所述氨基化合物在所述光刻胶中的质量百分数为0.4％～30％，所述醛基化合物在所述光刻胶中的质量百分数为0.5％～30％，所述产酸剂在所述光刻胶中的质量百分数为0.01％～8％。本发明还公开了一种亚胺类光刻胶材料的图案化方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 亚胺 材料 图案 方法 | ||
【主权项】：
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