[发明专利]VCSEL芯片及其制造方法有效
| 申请号: | 202010809941.5 | 申请日: | 2020-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN111711073B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
| 发明(设计)人: | 仇伯仓;李春勇;舒凯;柯毛龙;徐化勇;冯欧 | 申请(专利权)人: | 江西铭德半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 彭琰 |
| 地址: | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | 本发明提供一种VCSEL芯片及其制造方法,该VCSEL芯片包括芯片主体,所述芯片主体上设有第一氧化圈和第二氧化圈,所述第一氧化圈和所述第二氧化圈在光场中的位置不同,当所述芯片主体的材料生长参数发生变化时,其中一个氧化圈与光场的耦合系数增强,另一个氧化圈与光场的耦合系数减弱,以使两个氧化圈与光场的总耦合系数保持恒定。本发明能够解决现有技术中,因氧化圈与光场发生相对移动,导致芯片参数和性能受影响的问题。 | ||
| 搜索关键词: | vcsel 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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