[发明专利]密封性在线检测装置和方法在审
| 申请号： | 202010801446.X | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111811753A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·贺·汪 | 申请（专利权）人： | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;何敏清 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种密封性在线检测装置和方法。所述密封性在线检测装置用于检测待测元件的密封性，其包括：盖板、测量装置和密封件，所述待测元件设于所述盖板和所述密封件之间；所述盖板设于所述待测元件的上表面，所述盖板设有凹槽，所述凹槽与所述待测元件形成一腔体；所述盖板设有至少一进气口，所述进气口与所述腔体相通；所述测量装置通过一气体通道与所述进气口相连，用于检测所述腔体的气压或气体流量；所述密封件设于所述待测元件的下表面边缘。本发明能有效检测单面密封的元件的密封性，避免元件因密封不严密造成浪费和损失，本发明检测方法简便有效。 | ||
| 搜索关键词： | 密封性 在线 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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