[发明专利]密封性在线检测装置和方法

权利要求书

1.一种密封性在线检测装置，用于检测待测元件的密封性，其特征在于，所述密封性在线检测装置包括：盖板、测量装置和密封件，所述待测元件设于所述盖板和所述密封件之间；

所述盖板设于所述待测元件的上表面，所述盖板设有凹槽，所述凹槽与所述待测元件形成一腔体；

所述盖板设有至少一进气口，所述进气口与所述腔体相通；

所述测量装置通过气体通道与所述进气口相连，用于检测所述腔体的气压或气体流量；

所述密封件设于所述待测元件的下表面边缘。

2.如权利要求1所述的密封性在线检测装置，其特征在于，所述进气口的数量为1～3个，较佳地为1个；所述气体通道的数量与所述进气口的数量对应；

所述气体通道通过一接头与所述进气口相连；

所述腔体与所述待测元件的接触面面积S1为所述待测元件上表面面积S2的5～99％，较佳地为9～64％。

3.如权利要求1所述的密封性在线检测装置，其特征在于，所述测量装置设有第一气压表或第一气体流量表；所述第一气压表用于测量所述腔体的气压，设置在所述气体通道处；

所述第一气体流量表用于测量所述腔体的气体流量，设置在所述气体通道处。

4.如权利要求3所述的密封性在线检测装置，其特征在于，当所述测量装置用于检测所述腔体的气压时，所述测量装置还设有第二气压表，所述第二气压表用于测量气体的供气气压，设置在供气气源处；

当所述测量装置用于检测所述腔体的气体流量时，所述测量装置还设有第二气体流量表，所述第二气体流量表用于测量气体的供气流量，设置在供气气源处。

5.如权利要求1所述的密封性在线检测装置，其特征在于，所述气体通道的材料为绝缘材料，较佳地为聚乙烯塑料；

所述气体通道的直径为1/8英寸。

6.如权利要求1所述的密封性在线检测装置，其特征在于，所述密封性在线检测装置还包括夹持机构，所述夹持机构用于夹持所述盖板、所述待测元件和所述密封件。

7.如权利要求6所述的密封性在线检测装置，其特征在于，所述夹持机构还用于使所述待测元件实现电导通；

所述密封件的材料为氟橡胶；

所述盖板的材料为塑料或金属；较佳地，所述盖板的材料为PTFE特氟龙塑料或铝；

所述待测元件为晶圆；

所述密封件为晶圆密封圈，所述晶圆密封圈的外径为所述待测元件直径的90％～100％，内径与外径之差为2mm，高度为1～1.5mm。

8.一种密封性在线检测方法，其特征在于，利用如权利要求1-7任一项所述的密封性在线检测装置进行，包括如下步骤：

S1：将所述盖板、所述待测元件和所述密封件进行压紧，通过所述气体通道从所述进气口向形成的腔体通入气体；

S2：通过所述测量装置检测所述腔体的气压或气体流量。

9.如权利要求8所述的密封性在线检测方法，其特征在于，步骤S1中气体的供气气压为0.1-0.5MPa；或者，步骤S1中气体的供气流量为1-10cfm。

10.如权利要求8所述的密封性在线检测方法，其特征在于，步骤S1中，所述气体的通入量固定；或者，所述气体的通入量不固定，通过第二气压表对供气气压进行测量，或通过第二气体流量表对供气流量进行测量。