[发明专利]一种ppm级二甲醚标准混气配置装置及方法在审
| 申请号： | 202010796075.0 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN112129799A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 姜永要;俞冬雷;郑锐 | 申请（专利权）人： | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N24/08 | 分类号： | G01N24/08;G01N30/02 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 李寰 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种ppm级二甲醚标准混气配置装置及方法，用采气袋收集高纯度的二甲醚，连接混气配气系统，用底气置换干净各个管路，打开事先用底气置换好的且处于真空状态的标气瓶，用负压把二甲醚压入标气瓶，再用底气置换管路3次，最后补入底气至设定的压力，完成ppm级标气配置；操作简单、配置精度高、可配置多种ppm级浓度的标准气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ppm 甲醚 标准 配置 装置 方法 | ||
【主权项】：
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