[发明专利]酸性蚀刻液及其电解提铜再生利用装置和方法在审
| 申请号： | 202010778994.5 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN111733419A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 徐麟;杨代军;黄勇 | 申请（专利权）人： | 上海毅蓝电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/08;C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 刘兰英 |
| 地址： | 201821 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种酸性蚀刻液及其电解提铜再生利用装置和方法，具备出色的蚀刻稳定性、蚀刻速度、精细度，具备简单可控原位电解循环利用方式，获得平整光亮的铜板，无蚀刻液膨胀，无氯气产生，无需调配缸进行人为干预调整，再生液可直接回蚀刻机蚀刻线路生产。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性 蚀刻 及其 电解 再生 利用 装置 方法 | ||
【主权项】：
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