[发明专利]酸性蚀刻液及其电解提铜再生利用装置和方法在审
申请号: | 202010778994.5 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN111733419A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 徐麟;杨代军;黄勇 | 申请(专利权)人: | 上海毅蓝电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18;C23F1/08;C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00 |
代理公司: | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 刘兰英 |
地址: | 201821 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 酸性 蚀刻 及其 电解 再生 利用 装置 方法 | ||
1.酸性蚀刻液,其特征在于,以水为溶剂,各溶质及其浓度为:
140-160g/L二价铜,5-15g/L三价铁离子,5-10g/L二甲亚铁离子,1.0-3.0mol/L H+,
230-330g/L氯离子,1-10g/L烯丙基硫脲。
2.酸性蚀刻液电解提铜循环利用装置,其特征在于,包括:
蚀刻机,其采用酸性蚀刻液对覆铜板进行蚀刻形成电路板,所述酸性蚀刻液以水为溶剂,各溶质及其浓度为140-160g/L二价铜,5-15g/L三价铁离子,5-10g/L二甲亚铁离子,1.0-3.0mol/L H+,230-330g/L氯离子,1-10g/L烯丙基硫脲,所示蚀刻机具有一酸性蚀刻液进口和一存放蚀刻后的酸性蚀刻废液的废液储存桶;
电解槽,其所述电解槽内设置有一隔板将其分割成阳极区和阴极区,所述阳极区具有一第一酸性蚀刻液废进口、一提铜后阴极液进口和一酸性蚀刻电解液出口,所述第一酸性蚀刻液废进口通过一循环泵与所述蚀刻机连接,所述酸性蚀刻电解液出口与所述酸性蚀刻液进口连接,所述阴极区内盛放有阴极液,所述阴极液溶剂为水,各溶质及其浓度分别为10-30g/L一价铜离子,10-30g/L二价铁离子,1.0-3.0mol/L H+,230-330g/L氯离子,所述阴极区具有一第二酸性蚀刻废液进口和一提铜后阴极液出口,所述第二酸性蚀刻废液进口和所述废液储存桶之间设置有一酸性蚀刻废液补充泵,所述提铜后阴极液出口和所述提铜后阴极液进口之间设置有一提铜后阴极液补充泵;
第一比重传感器,其检测当前酸性蚀刻液的比重值,所述提铜后阴极液补充泵与所述第一比重传感器电连接,所述提铜后阴极液补充泵在当前酸性蚀刻液的比重值高于第一设定值时开启;
第二比重传感器,其设置在所述阴极区内并检测当前阴极区内阴极液的比重值,所述第二比重传感器与所述酸性蚀刻废液补充泵电连接,且所述酸性蚀刻废液补充泵在所述当前阴极区内阴极液的比重值低于第二设定值时开启;
氧化还原电位传感器,其设置在所述阳极区内并检测当前酸性蚀刻液的ORP值;
电解整流机,其插入所述电解槽内并与所述氧化还原电位传感器电连接,所述电解整流机在所述当前酸性蚀刻液的ORP值高于设定ORP值时进行电解电流调整;
安培小时传感器,其设置在所述电解整流机上;
烯丙基硫脲补给计量泵,其与所述安培小时传感器电连接并定时开启。
3.如权利要求2所述的酸性蚀刻液电解提铜循环利用装置,其特征在于,所述设定ORP值为600-650mV。
4.如权利要求2所述的酸性蚀刻液电解提铜循环利用装置,其特征在于,还包括氯气传感器,其检测所述阳极区内的当前氯气浓度值并与所述电解整流机电连接,所述电解整流机在所述当前氯气浓度值达到报警阈值时关闭。
5.如权利要求2所述的酸性蚀刻液电解提铜循环利用装置,其特征在于,所述烯丙基硫脲的补充量为0.1-1g/100A.h。
6.酸性蚀刻液电解提铜循环利用方法,其特征在于,包括以下步骤:
采用酸性蚀刻液对覆铜板进行蚀刻形成电路板同时得到酸性蚀刻废液,所述酸性蚀刻液以水为溶剂,各溶质及其浓度为140-160g/L二价铜,5-15g/L三价铁离子,5-10g/L二甲亚铁离子,1.0-3.0mol/L H+,230-330g/L氯离子,1-10g/L烯丙基硫脲,
酸性蚀刻废液一部分流入废液储存桶内,另一部分则经由循环泵到达电解槽的阳极区并与阴极区的阴极液一起进行电解分别得到酸性蚀刻电解液、提铜后阴极液和铜板,酸性蚀刻电解液回到蚀刻机内与酸性蚀刻液混合后对覆铜板进行蚀刻,完成循环;
检测当前酸性蚀刻液的比重值,并在其高于第一设定值时开启提铜后阴极液补充泵,将提铜后阴极液补充至阳极区内;
检测放弃阴极区内阴极液的比重值,并在其低于第二设定值时开启酸性蚀刻废液补充泵,将酸性蚀刻废液补充至阴极区内;
检测当前酸性蚀刻液的ORP值,在其高于设定ORP值时进行电解电流调整,所述设定ORP值为600-650mV;
检测所述阳极区内的当前氯气浓度值,在其达到报警阈值时电解整流机关闭;
定时开启烯丙基硫脲补给计量泵为酸性蚀刻废液中补充烯丙基硫脲,补充量为0.1-1g/100A.h。
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