[发明专利]一种基于PLC在金刚石生长系统中的控制方法

摘要

本发明涉及一种基于PLC在金刚石生长系统中的控制方法，包括：PLC控制器根据流程启动信号控制和真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行抽气控制流程；PLC控制器根据真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行工艺控制流程以进入金刚石生长流程；在金刚石生长流程中，PLC控制器根据从上位机获取的生长信息配方表，利用真空系统进行真空压力控制、利用耔晶载物盘系统进行生长位置控制、利用辉光系统进行辉光控制，同时利用工艺气体系统进行工艺气体控制；PLC控制器根据工艺停止信号和真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行排气控制流程，使真空腔体内的压力恢复至常压。该方法在PLC的协同下实现了更安全更智能化的金刚石生长控制。