[发明专利]电荷平衡功率器件以及用于制造电荷平衡功率器件的方法在审
| 申请号： | 202010756416.1 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112310194A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | A·桑坦格罗;G·郎戈;L·伦纳 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例涉及电荷平衡功率器件以及用于制造电荷平衡功率器件的方法。一种电荷平衡功率器件，包括具有第一导电类型的半导体主体。沟槽栅极在半导体主体中从第一表面朝向第二表面延伸。主体区域具有与第一导电类型相反的第二导电类型，并且主体区域面对半导体主体的第一表面并且在沟槽栅极的第一侧和第二侧上延伸。具有第一导电类型的源极区域在主体区域中延伸并且面对半导体主体的第一表面。漏极端子在半导体主体的第二表面上延伸。器件还包括具有第二导电性的第一柱状区域和第二柱状区域，该第一柱状区域和第二柱状区域在半导体主体中与沟槽栅极的第一侧和第二侧相邻地延伸，并且第一柱状区域和第二柱状区域与该主体区域间隔开，并且与漏极端子间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 平衡 功率 器件 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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